超精密加工技術 | 合法工廠查詢網
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由許巍耀著作—一般而言,非接觸式的軸承具.有低摩擦、運動平滑性與抑振特性,其中液靜壓軸.承剛性較佳,因此超精密加工機的導軌大多採用液.圖1.加工精度進展。
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